超纯水管理用 高灵敏度硅表 SLIA-300

概要

在半导体/FPD工艺中，超纯水中的二氧化硅浓度会给产品精度以及原材料利用率带来很大影响。高灵敏度硅表 SLIA-300完全能够达到1μg/L(1ppb)等级的检测要求。在其小巧的台式型机身中可实现在整个检测范围内的高灵敏度检测。连同HORIBA享有好评的一些基本特性，例如高速响应性以及自我诊断功能等，其值得夸耀的表现将灵敏度带入了一个新的等级。SLIA-300为半导体/FPD制造流程中的纯水工艺提供了强有力的支持。

特征

●高灵敏度、以及较高的重复性。
利用HORIBA新开发的，独特检测单元，SLIA-300实现了应对低浓度的高灵敏度测量。通过5分钟的高速测量，可保证在0〜2μg/L量程中实现全刻度±2%的重复性。
●小巧设计的台式型。
新开发的检测单元技术，实现了划时代的小巧设计。由于是台式型，所以可以适用于各种各样设置条件等较小空间。也可以作为移动式使用。
●试剂的消耗量可降低80%。
采用改良型检测单元，可以把试剂的消耗量降低到原来的80%。能够大幅地削减试剂的经费成本。
●*多可检测6个点。(可选件)
支持多点检测，SLIA-300支持的多点检测。检测点数可以在1和6之间进行任意设定。
●自我诊断功能检查运行错误。
该功能可对试样水以及试剂的注入、校正、检测单元内温度和光源异常等运行错误进行监测和自我诊断。如果发生错误，就会以报警灯显示，同时通过文字显示输出信息。
●通过自动校正，实现良好维护性。
每次测量之前将自动进行零点校正，除可以确认透过光度以外，还可以修正浊度的影响。
●采用不需要更换的半长久性光源。
采用光量稳定、 工作寿命长的单色性半导体光源。
 

規格