金属-有机化学气相沉积（MOCVD）工艺被广泛应用于 LED、光学器件和其他元件的制造。液体和固体前导通过控制温度、压力和载体气流速（泡泡法）输送到反应室。在线 IR-300 系列实时测量和反馈气体浓度。

产品描述

商品详情

Vapor Concentration Monitor IR-300

概要

金属-有机化学气相沉积（MOCVD）工艺被广泛应用于 LED、光学器件和其他元件的制造。液体和固体前导通过控制温度、压力和载体气流速（泡泡法）输送到反应室。
在线 IR-300 系列实时测量和报告气体浓度，为用户提供以下优势：

优化过程控制以生产更上等别的
设备提高设备产量并减少废料
提高可再现性
知道泡沫器何时需要更换扩展 MTTA
减少计划外干预
减少有价值的前体废物
实时监测
快速响应和出色的重复性允许实时跟踪蒸汽浓度变化
多校准曲线功能（可选）
允许测量多达 3 个化学品或范围
多显示功能
IR-300 单元顶部的多显示功能为用户提供了浓度监测和前体供应线状态的现场检查
功能
通过 DeveNet

, RS485 和模拟通信连接
简单,紧凑型
设计采用 124 mm 的VCR尺寸，紧凑且无安装方向要求，便于集成

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Vapor Concentration Monitor IR-300

金属-有机化学气相沉积（MOCVD）工艺被广泛应用于 LED、光学器件和其他元件的制造。 液体和固体前导通过控制温度、压力和载体气流速（泡泡法）输送到反应室。 在线 IR-300 系列实时测量和反馈气体浓度。

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Vapor Concentration Monitor IR-300

概要

金属-有机化学气相沉积（MOCVD）工艺被广泛应用于 LED、光学器件和其他元件的制造。液体和固体前导通过控制温度、压力和载体气流速（泡泡法）输送到反应室。在线 IR-300 系列实时测量和反馈气体浓度。