PV1000、PV2000压电阀、压力控制器 PV 系列上海加惠仪器仪表有限公司

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产品名称： PV1000、PV2000压电阀、压力控制器 PV 系列
产品型号：
产品展商：日本HORIBA
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简单介绍

Horiba 压电阀PV系列内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，*适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。通过金属封口方式实现了超低泄漏，不仅可进**体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

产品描述

商品详情

压电阀、压力控制器 PV 系列

Horiba 压电阀PV系列内置有高速响应的压电阀，接气部采用了全金属构造，*适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。通过金属封口方式实现了超低泄漏，不仅可进**体的流量控制，而且还可以进行液体的流量控制

概要

PV1000、PV2000系列由陶瓷晶体阀和金属主体和金属密封圈组成，再由压力传感器或流量传感器和一个比率控制器来进行压力控制或流量控制。陶瓷晶体驱动阀：陶瓷晶体阀系列根据外部单元控制信号来实现压力控制功能。压力信号来自压力传感器外部控制信号单元PCU－1000/2000，控制单元会通过节内部电路计算出*佳的控制方式并输出给陶瓷晶体阀来实现压力控制。且PCU－2100同时具有压力控制信号设定功能。

特征

超洁净处理
量程范围广
耐高温 PV-1000S/2000S 系列
外部控制压力系统

規格

PV-1000
流量量程	1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算)
流量控制范围	全标度的2〜100%
阀门方式	常开/关闭型
控制输入1	0〜5VDC
响应性	0.5秒以内
使用温度	0〜50℃
使用压力	*大值.300kPa
耐压	1MPa
泄漏规格	5×10-12Pa・m3(He)

PV-2000
流量量程	10/20 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算)
流量控制范围	全标度の2〜100%
阀门方式	常开/关闭型
控制输入1	0〜5VDC
响应性	0.5秒以内
使用温度	0〜50℃
使用压力	*大值.300kPa
耐压	1MPa
泄漏规格	5×10-12Pa・m3(He)

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