- 如果您对该产品感兴趣的话，可以
- 产品名称：S48/32低成本质量流量控制器
- 产品型号：
- 产品展商：日本HORIBA
- 产品文档：无相关文档
简单介绍
低成本质量流量控制器S48/32
S48/32是horiba厚礼博的畅销产品，流量从1sccm-50LPM，精度1%，电源有±15V和24V可选，输出信号有4-20mA、0-5V可选。
质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
*气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降*操作使用方便，可任意位置安装。
产品描述
低成本质量流量控制器S48/32
S48/32是horiba厚礼博的畅销产品，流量从1sccm-50LPM，精度1%，电源有±15V和24V可选，输出信号有4-20mA、0-5V可选。
质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
*气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降
*操作使用方便，可任意位置安装。
S48 32/HMT质量流量控制器（流量计）
|
编号
|
项目
|
S48 32/HMT
|
|
1
|
流量规格
|
(10,50,100,500)mL/min (0～1,5,10)L/min
|
|
2
|
调节阀类型
|
电磁调节阀
|
|
3
|
调节阀静止状态
|
常闭
|
|
4
|
安装方向
|
任意
|
|
5
|
流量控制范围
|
2%～100%
|
|
6
|
流量测量范围
|
（0～100）%
|
|
7
|
零点温漂
|
±30mV（15℃～35℃）
|
|
8
|
响应时间
|
2s（设定值的±2% F.S）
|
|
9
|
工作环境温度
|
5℃～50℃
|
|
10
|
精度保证温度
|
15℃～35℃
|
|
11
|
精度
|
±1.0%F.S
|
|
12
|
线性精度
|
±0.5%F.S
|
|
13
|
重复性
|
±0.2%F.S
|
|
14
|
工作压差
|
＜5L/min(0.05～0.3)MPa ，5L/min～10L/min： (0.1～0.3)MPa
|
|
15
|
耐压
|
10MPa
|
|
16
|
泄漏率
|
1×10-8 Pa.m3/s
|
|
17
|
接触气体材料
|
橡胶密封：SUS316L、PTFE、Viton氟橡胶
金属密封：316L、PTFE
|
|
18
|
管路接头
|
1/4Swagelok,Φ6～Φ10
|
|
19
|
供电电源
|
±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA；
+24VDC，250mA
|
|
20
|
设定信号
|
±15VDC：(0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ
+24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
|
|
21
|
流量输出信号
|
±15VDC：(0～5)VDC 负载能力≤3mA
+24VDC：0-5VDC、1-5VDC、4-20mA
|
|
22
|
电气接头
|
D-SUB15
|
|
23
|
外形尺寸mm
|
113(宽)×121（高）×32（厚）
|